【関連情報】半導体の研究・製造工程を支える高純度PFA製品
サビレックス(Savillex)製のPFA製品は、半導体分野で求められる低金属溶出性と耐薬品性を提供します。
PFAの優れた耐薬品性により、腐食性の強い酸や化学薬品を扱うエッチング、洗浄工程での使用に最適で、金属イオンの溶出が極めて少ないため、超高純度薬液や超純水の保管や移送に理想的です。
また、PFAは表面が平滑でパーティクルの発生や付着が少なく、半導体製造で求められるクリーンな流体環境の維持にも貢献します。
さらに、クリーンルーム環境での使用を前提とした低コンタミネーション性を備えており、汚染のリスクを最小限に抑えつつ、精密な半導体製造における品質の安定化や歩留まり向上に貢献します。
サビレックス製品には
・PFAジャー
・PFAバイアル
・PFAボトル
・PFA試験管
・PFAインピンジャー
・PFA耐圧容器
・PFAフィルターホルダー
・PFA円筒状カラム組合せ容器
・PFA分解容器
・PFAナット/コネクター
・PFAチューブ
・PFA非沸騰式酸蒸留器
・PFAコーティンググラファイトホットプレート
など、幅広い製品群がございます。
これら製品群はいずれも低金属溶出性と耐薬品性にすぐれているため、試薬や化学薬品の移送や腐食性液体の保管に使用するボトルや、反応容器に使用するバイアル、工場内の環境分析や薬液や超純水のろ過に使用するフィルターホルダーなど、半導体製造プロセス全体のコンタミネーションを高いレベルで抑え、安定した品質管理に貢献します。
用途と製品の例
- 超純水の移送：PFAチューブ
- HF薬液の保管・移送：PFAボトル、PFAチューブ
- ICP-MS前処理・試料保存：PFAバイアル、PFA分解容器
- VPD：PFAジャー
- 酸蒸留：非沸騰式酸蒸留器
サビレックスのPFA製品は高純度PFAバージン樹脂を採用しており、その優れた特性から、高品質な半導体生産において研究開発から製造工程まで幅広い用途で活用されています。
半導体の微細化が進むにつれ、容器や配管由来の微量金属汚染やパーティクル管理はますます重要になっています。
サビレックス製PFA製品は、そのような高い要求に応えるためのソリューションとして、世界中の半導体・分析分野で利用されています。
