マーケット：半導体
Semiconductor
半導体製造を支える高純度PFA製品
AI、5G、自動運転、データセンターなどの普及に伴い、半導体にはこれまで以上の高性能化・高集積化が求められています。半導体デバイスの微細化が進む現在では、わずかな金属不純物やパーティクルが歩留まりや製品品質に大きな影響を与えるため、製造工程で使用される薬液やプロセス機器にも極めて高い清浄性が必要です。
サビレックスは、高純度PFA製品を提供する専門メーカーとして、半導体製造工程を支える様々な製品を提供しています。優れた低溶出性、耐薬品性、耐久性を備えたPFA製品は、薬液の保管・供給からウェハー処理、分析用途まで、幅広い工程で採用されています。
超高純度環境を維持する低溶出PFA
半導体製造では、高純度薬液や超純水を使用した洗浄、エッチング、成膜などの工程が繰り返し行われます。これらの工程では、容器や配管から微量の金属イオンや有機物が溶出すると、デバイス性能や歩留まりに影響を及ぼす可能性があります。
サビレックスのPFA製品は、高純度バージンPFA樹脂を使用し、不純物の溶出を極めて低いレベルに抑えています。高純度薬液の品質維持に貢献し、半導体製造に求められるクリーンなプロセス環境を支えます。
強酸・強アルカリにも優れた耐薬品性
半導体製造では、フッ化水素酸、硫酸、塩酸、硝酸、過酸化水素、水酸化アンモニウムなど、多様な薬液が使用されます。これらの薬液を安全かつ安定して取り扱うためには、高い耐薬品性を備えた材料が不可欠です。
PFAは、幅広い薬液に対して優れた耐食性を発揮し、高温での薬液処理や洗浄工程など、厳しい化学環境でも優れた耐薬品性を発揮します。サビレックスのPFA製品は、薬液用ボトル、移送用チューブ、各種機器の組み込み部品などに採用され、優れた耐久性により、厳しい製造環境でも繰り返し使用に適しています。
研究開発から量産工程まで幅広く対応
サビレックスは、半導体研究開発向けの少量薬液管理から、大量生産ラインで使用されるプロセス部品まで、多様な製品をラインアップしています。
PFAボトルやバイアルは高純度薬液の保存・管理に、チューブは超純水の移送に使用されるなど、半導体製造の幅広い工程で活躍し、それぞれの製造プロセスに応じた製品を提供しています。クリーンルーム環境で使用される高純度薬液や超純水の取り扱いにおいても、容器由来の金属汚染やパーティクル発生を抑制し、安定したプロセス運用に貢献します。
半導体産業の未来を支える
半導体の進化とともに、製造プロセスにはこれまで以上の高純度化と高品質化が求められています。サビレックスの高純度PFA製品は、低溶出性、耐薬品性、耐久性を高いレベルで兼ね備え、最先端の半導体製造を支える重要な役割を担っています。
サビレックスは、研究開発から量産まで、品質と歩留まりの向上を支える高純度PFA製品として、多くの半導体メーカーや研究機関で採用されています。
サビレックスが提供する半導体分野推奨PFA製品
- PFAボトル
独自のフッ素樹脂成形技術により、高精度に成形された容器捻子部と捻子蓋による高い気密性を実現し、高純度薬液を安全に保管します。注出口に液だまりが生じにくい設計のため、薬液の残液ロスがほとんどありません。また、微量金属の溶出が極めて少なく、表面の平滑性も高いため、コンタミネーションリスクを最小限に抑えます。 - PFAジャー
高純度薬液のサンプル保管をはじめ、微量金属の混入を避けたい試料の保存に使用されます。肉厚な広口容器で、完全一体成形、角のない内面加工など、最大2Lサイズまで用意されています。 - PFAバイアル
高純度PFA樹脂から製造されたPFA小型容器で、ICP-MSの前処理酸分解や、半導体産業での製造履歴管理用の薬液保存など、極めて高い純度が求められる用途に使用されています。 - PFAチューブ
幅広い薬液に対して不活性です。耐薬品性と低溶出性に優れているため汚染を抑えた移送が可能で、高温環境でも優れた耐久性を発揮します。超純水や高純度薬液の移送に適しています。 - PFAコネクター
PFAチューブ同士や容器との接続に使用される高純度コネクターです。ストレート、エルボ、ティー、ストップコックなど、多様な形状をラインアップしています。 - 酸浄化システム
非沸騰式蒸留により1ppbグレードの酸を10pptグレードに高純度化する自動精製装置です。ヒーター内蔵式で接液部は全てPFAで成形されており、蒸留された酸は直接回収ボトルに流入するため不純物の混入を回避できます。 - PFAコーティンググラファイトホットプレート
熱伝導性が高く粒子が細かいグラファイト天板の表面をPFAでコーティングしています。本体には熱源を多く配置するなど、温度分布の均一性と純度を追求しており、均一な加熱とコンタミネーションリスクを低減した試料分解が要求される、微量金属分析の前処理用ホットプレートです。
