半導体製造工程におけるサビレックス製品の有効性

半導体製造における高純度薬液の重要性

半導体製造工程は、非常に高度な微細加工技術を必要とするため、使用される薬液の純度は極めて重要です。
微量の金属不純物が混入すると、デバイスの特性に悪影響を及ぼし、歩留まりを低下させる可能性があります。

半導体製造工程には、
回路設計 ⇒ フォトマスク作成 ⇒ ウェーハ製造工程 ⇒ シリコンインゴット切断 ⇒ ウェーハの研磨 ⇒ ウェーハ表面の酸化 ⇒ 薄膜形成 ⇒ フォトレジスト塗布 ⇒ 露光・現像 ⇒ エッチング ⇒ レジスト剥離・洗浄 ⇒ イオン注入 ⇒ 平坦化 ⇒ 電極形成
など、複雑で多数の工程があります。

半導体の微細化・高性能化により製造プロセスの複雑さが増している現在では、薬液中に残存する微量金属は、エッチングプロセスにおける加工異常など、電気特性および加工形状に異常を発生させる可能性があり、歩留まり低下や品質トラブル回避の極めて重要なファクターになっています。

各工程における微量金属汚染リスク

国内半導体生産への貢献

半導体の国内生産体制の増強に伴い、製造装置に加えて生産に使用する国内調達品の多くに厳格な品質が求められています。
中でも、薬液保管に使用するボトル・容器類、ガスや液体供給用チューブには、耐熱性・耐薬品性・純粋性・非粘着性などに極めて優れたPFAなどのフッ素樹脂が使用されています。

なかでも、当社で取り扱うサビレックス社のPFA製品は、世界最大の半導体製造国のアメリカでの評価も高く、すべてバージンPFA樹脂で製造されるなど、各社PFA製品の中でも樹脂からの金属溶出が極めて少ないPFA製品ブランドとして流通し、半導体の品質向上に貢献する各種PFA製品を提供しています。

サビレックスが提供する半導体関連PFA製品群

• ボトル
  極めて質が高いボトルです。独自のフッ素樹脂成形技術により、歪みがない容器捻子部と捻子蓋による高い気密性を実現し、薬液の安全な保管を促進します。注出口に窪みが一切ないため薬液の残液ロスもございません。
• ジャー
  高純度薬液のサンプル保管をはじめ、不純物の溶出がない高純度保存が求められる用途に使用されます。肉厚構造、完全一体成形、角のない内面加工など、最大2Lまでサイズがある広口容器です。
• バイアル
  高純度のPFAレジンから製造されたPFA小型容器で、半導体産業でのトレーサビリティ用の薬液保存や、ICP-MSの前処理分解など、極めて高い純度が求められる用途に使用されています。
• チューブ
  高純度PFAレジンから製造されており、ほぼ全ての薬液に対して不活性です。耐薬品性に優れ溶出が極めて少ないため汚染のない移送が可能で、熱による劣化を受けることもありません。
• コネクター
  チューブ同士の接合、容器とチューブの接合、ストップコックなど、各種形状のコネクターがあります。
• 酸浄化システム
  非沸騰式蒸留により1ppbグレードの酸を10pptグレードに高純度化する自動精製装置です。ヒーター内蔵式で接液部は全てPFAで成型され、蒸留された酸は直接回収ボトルに流入するため不純物の混入を回避できます。
• PFAコーティングホットプレート
  熱伝導性が高く粒子が細かいグラファイト天板の表面をPFAでコーティングしています。本体には熱源を多く配置するなど、温度分布性と純度を追求し、極めて均一で汚染のない試料分解が要求される微量元素分析の前処理用ホットプレートです。